平面光波导精密对准平台运动误差的敏感性分析

• 作者: 唐皓 段吉安 祝孟鹏 郑煜
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 光波导对准 精密运动平台 多体动力学 敏感性分析
• 年，卷（期）: 2012,（8）
• 所属期刊栏目: 机械科学
• 页码范围: 888-892,896
• 页数: 6页
• 分类号: TN252
• 语种: 中文

摘要

在阵列光纤与波导芯片的对准过程中,多自由度精密运动平台的运动精度直接影响其耦合效率。针对此问题,运用多体动力学理论,通过分析运动平台的各项误差源,建立了多自由度精密运动平台的误差模型。采用基于方差的Sobol法对运动平台的各项误差进行敏感性分析,从而得到了各误差参数在敏感方向的影响程度。试验结果与理论分析结果基本吻合,说明该模型具有一定的适用性。该模型可为多自由度精密运动平台的运动精度控制、误差补偿分析以及系统优化设计提供借鉴。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	段吉安	中南大学高性能复杂制造国家重点实验室	107	973	17.0	24.0
2	唐皓	中南大学高性能复杂制造国家重点实验室	5	12	2.0	3.0
3	郑煜	中南大学高性能复杂制造国家重点实验室	25	114	6.0	9.0
4	祝孟鹏	中南大学高性能复杂制造国家重点实验室	2	8	2.0	2.0