光刻投影物镜可变光阑的结构设计与分析

• 作者: 孙振 巩岩
• 来源期刊: 中国光学
• 学科: 工学
• 关键词: 可变光阑 投影物镜 结构设计 有限元分析
• 年，卷（期）: 2012,（4）
• 所属期刊栏目: 光学仪器
• 页码范围: 401-406
• 页数: 6页
• 分类号: TH703|TH132
• 字数: 1907字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.2095-1531.2012.04.014

摘要

针对光刻机投影物镜的可变光阑设计对光阑调整范围、安装空间、调整精度的要求,设计了口径为236 mm、调整精度为NA±0.003的连续可变光阑。通过设计与计算236 nm光阑片参数,得到了光阑各组件的结构参数,并采用部分齿轮减小了运动机构的质量和摩擦。为了保证光阑的调整精度和材料应力要求,对光阑的各个部件进行强度校验并对其固有频率进行了分析。结果表明：光阑的关键受力部件（如连接铆钉及传动齿轮）的应力均满足要求,光阑片的固有频率间不存在密频现象。结果证明了提出结构的合理性。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	巩岩	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	72	423	13.0	17.0
2	孙振	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	7	21	3.0	4.0