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摘要:
针对光刻机投影物镜的可变光阑设计对光阑调整范围、安装空间、调整精度的要求,设计了口径为236 mm、调整精度为NA±0.003的连续可变光阑。通过设计与计算236 nm光阑片参数,得到了光阑各组件的结构参数,并采用部分齿轮减小了运动机构的质量和摩擦。为了保证光阑的调整精度和材料应力要求,对光阑的各个部件进行强度校验并对其固有频率进行了分析。结果表明:光阑的关键受力部件(如连接铆钉及传动齿轮)的应力均满足要求,光阑片的固有频率间不存在密频现象。结果证明了提出结构的合理性。
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文献信息
篇名 光刻投影物镜可变光阑的结构设计与分析
来源期刊 中国光学 学科 工学
关键词 可变光阑 投影物镜 结构设计 有限元分析
年,卷(期) 2012,(4) 所属期刊栏目 光学仪器
研究方向 页码范围 401-406
页数 6页 分类号 TH703|TH132
字数 1907字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.2095-1531.2012.04.014
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 巩岩 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室 72 423 13.0 17.0
2 孙振 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室 7 21 3.0 4.0
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可变光阑
投影物镜
结构设计
有限元分析
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
中国光学
双月刊
2095-1531
22-1400/O4
大16开
吉林省长春市东南湖大路3888号
12-140
1985
chi
出版文献量(篇)
2372
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8
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11606
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