紫外激光对触摸屏产品中不可视区域刻蚀实验研究

• 作者: 周明 张伟 李健 狄建科 王星罡 赵裕兴
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 紫外激光 激光刻蚀 薄膜 触摸屏
• 年，卷（期）: 2012,（8）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 973-975
• 页数: 3页
• 分类号: O437|TN249
• 字数: 874字
• 语种: 中文

摘要

采用紫外激光对触摸屏产品中不可视区域进行刻蚀分析,探究了紫外激光刻蚀原理,讨论了银浆薄膜激光刻蚀与传统印刷工艺异同点,并在此基础上完成一套紫外激光刻蚀系统方案的设计和建造。实验结果表明,选用波长为355nm的紫外激光器,当激光器功率为10W,重复频率100kHz,刻蚀速度为1500mm/s,刻蚀次数1次时,薄膜被完全刻蚀,最终获得功能良好的银浆线路。经测试后发现,所刻蚀后银浆线条平直而光滑,边缘热影响区域较小,最小刻蚀线宽可以达到10μm,基板未受到损伤;与传统印刷工艺相比较,简化了工艺步骤,产品良品率得到提升,是一种无排放的绿色环保先进的刻蚀工艺。