极紫外线技术有望让晶体管“瘦身”75％

• 来源期刊: 光学精密机械
• 学科: 工学
• 关键词: 紫外线技术 晶体管 瘦身 英特尔公司 芯片制造商 设备制造商 《自然》 光刻技术
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 页码范围: 4-5
• 页数: 2页
• 分类号: TN32

摘要

据英国《自然》杂志网站报道，芯片制造商英特尔公司表示，将向总部设在荷兰的半导体设备制造商阿斯麦投资41亿美元，其中10亿美元专门用于极紫外线（EUV）光刻技术的研发，新技术有望让晶体管的大小缩减为原来的1／4。