数控非接触式超光滑光学元件加工机床的设计

• 作者: 李显凌
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 光学制造 非球面 非接触加工 超光滑抛光 液体抛光 加工机床
• 年，卷（期）: 2012,（4）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 719-726
• 分类号: TQ171.684|TH161
• 字数: 4008字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20122004.0719

摘要

基于数控技术,提出了一种非接触式光学元件表面超光滑液体抛光方法.通过磨头中心孔为抛光表面提供抛光液,抛光液在磨头自转的带动下与光学元件表面相互作用,实现光学元件表面材料的微量去除,利用计算机控制抛光磨头的运动轨迹完成对光学元件表面的抛光.根据上述原理,设计和研制了数控非接触表面超光滑光学元件加工机床样机,样机直线运动轴最低进给速度为0.000 1 m/s,定位精度为0.008 mm；摆动轴最低转速为0.002 8 r/min,定位精度为15″.抛光实验结果表明,经过20 min的超光滑加工,熔石英材质光学元件上两点的表面粗糙度Ra值分别由加工前的1.03 nm和0.92 nm提高到加工后的0.48 nm和0.44 nm,显著提高了加工精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李显凌	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室	18	82	5.0	8.0