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摘要:
利用微动平台,二次开发控制软件,进行精密控制.为了克服回程误差,选择精度更高的光栅尺进行测量,整个测量系统组成伺服反馈系统,测量软件上进行闭环,一键设定到位,精度能达到0.2μm,适合于各种单自由度或多自由度小载荷精密移动领域.
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文献信息
篇名 一种计算机精密测量显示控制系统的设计及实现
来源期刊 工业控制计算机 学科 工学
关键词 计算机 微动平台 光栅尺 反馈控制
年,卷(期) 2012,(4) 所属期刊栏目 工业计算机应用及测控系统专题
研究方向 页码范围 53,55
页数 分类号 TP273
字数 885字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1001-182X.2012.04.026
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作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 卫菊红 5 71 3.0 5.0
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研究主题发展历程
节点文献
计算机
微动平台
光栅尺
反馈控制
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
工业控制计算机
月刊
1001-182X
32-1764/TP
大16开
南京市龙蟠路173号江苏省计算技术研究所
28-60
1988
chi
出版文献量(篇)
13243
总下载数(次)
60
总被引数(次)
46621
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