激光二坐标测量装置不确定度模型的研究和建立

• 作者: 叶孝佑 孙双花 杨国梁 王鹤岩 薛梓
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 坐标测量 影像测量 激光干涉 测量不确定度 二维线纹标准器
• 年，卷（期）: 2012,（z1）
• 所属期刊栏目: 几何量计量
• 页码范围: 1-5
• 页数: 5页
• 分类号: TB921
• 字数: 2944字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1158.2012.z1.01

摘要

随着集成电路制造中的光刻工艺日益成熟,利用光刻工艺制造的二维线纹标准器被大量应用于影像测量仪、带视觉测头的坐标机和数字式显微镜的精度校准和评价.为了解决二维线纹标准器的校准和量值溯源问题,研制了高精度激光二坐标测量装置,通过分析该测量装置的测量原理和机械、光学误差的作用机理,建立了二维线纹标准器点坐标的测量误差模型,为了降低二维线纹标准器点坐标的测量不确定度,给出了降低和消除装置几何测量误差的方法和步骤,建立了误差分离后的测量不确定度模型,并进行了不确定度分析和计算.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	叶孝佑		44	254	10.0	13.0
2	薛梓		32	62	5.0	6.0
3	孙双花		25	101	6.0	9.0
4	王鹤岩		16	43	5.0	6.0
5	杨国梁		13	38	4.0	6.0