磨粒辅助EDM与ECM复合加工技术

• 作者: 吴鑫 孙树峰 薛伟 计时鸣 谭大鹏
• 来源期刊: 机械工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: 放电加工 电化学加工 结构化表面
• 年，卷（期）: 2012,（17）
• 所属期刊栏目: 制造工艺与装备
• 页码范围: 159-164
• 分类号: TH161
• 字数: 3870字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3901/JME.2012.17.159

摘要

微机电系统(Micro electromechanical systems,MEMS)的快速发展与产品微型化的发展趋势对微细结构表面(包括微孔、微槽和微棱柱/锥等)的加工质量提出了更高的要求,为了提高微细结构表面的加工质量,提出一种磨粒辅助放电加工(Electro discharge machining,EDM)与电化学加工(Electro chemical machining,ECM)复合加工新方法,通过建立微加工模型分析了该方法的加工机理,搭建了微加工试验平台,并进行了工艺参数优化研究,采用直径500 μm和75 μm的钨电极在SUS 304不锈钢上分别进行了微盲孔和微通孔加工试验研究,结果表明,在所用的EDM、EDM与ECM复合加工和磨粒辅助EDM与ECM复合加工三种方法中,磨粒辅助EDM与ECM复合加工方法获得的表面粗糙度(Ra15 nm)最高,因此该方法是微细结构表面高效和高质量加工的最佳方法之一.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	计时鸣	浙江工业大学特种装备制造与先进加工技术教育部重点实验室	148	1843	23.0	37.0
2	薛伟	温州大学机电工程学院	66	591	13.0	20.0
3	谭大鹏	浙江工业大学特种装备制造与先进加工技术教育部重点实验室	33	282	10.0	16.0
4	孙树峰	浙江工业大学特种装备制造与先进加工技术教育部重点实验室	9	65	5.0	8.0
8	吴鑫	温州大学机电工程学院	1	7	1.0	1.0