基于低相干光平面波照明的数字全息显微测量

• 作者: 刘晓军 卢文龙 游雾
• 来源期刊: 华中科技大学学报：自然科学版
• 学科: 工学
• 关键词: 数字全息 显微镜 表面测量 三维表面形貌 平面波 角谱
• 年，卷（期）: 2012,（4）
• 所属期刊栏目: 机械工程
• 页码范围: 46-48
• 分类号: TH161
• 语种: 中文

摘要

提出将基于低相干光平面波照明的离轴数字全息显微方法应用于微纳表面测量,结合角谱算法,可在更近的距离以高分辨率重建由平面波记录的数字全息图.在发光二极管平面波照明全息实验中,通过单幅离轴全息图对标准刻线板进行了强度像和相位像的重建.在重建过程中,未发生频谱重叠的现象.对其三维表面形貌的评定结果显示重建的横向参数值与纵向参数值均与标准值具有很好的一致性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘晓军	华中科技大学机械科学与工程学院	60	357	11.0	15.0
2	卢文龙	华中科技大学机械科学与工程学院	16	45	3.0	6.0
3	游雾	华中科技大学机械科学与工程学院	1	2	1.0	1.0