Plasma-Assisted ALD of an Al2O3 Permeation Barrier Layer on Plastic

李兴存; 王正铎; 陈强; 雷雯雯

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Plasma-Assisted ALD of an Al2O3 Permeation Barrier Layer on Plastic

Plasma-Assisted ALD of an Al2O3 Permeation Barrier Layer on Plastic

作者：

李兴存王正铎陈强雷雯雯

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等离子体辅助

塑料薄膜

氧化铝

ALD

聚对苯二甲酸乙二醇酯

阻隔层

原子层沉积

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文献信息

篇名	Plasma-Assisted ALD of an Al2O3 Permeation Barrier Layer on Plastic
来源期刊	等离子体科学和技术：英文版	学科	工学
关键词	等离子体辅助塑料薄膜氧化铝 ALD 聚对苯二甲酸乙二醇酯阻隔层原子层沉积渗透
年，卷（期）	2012,（2）	所属期刊栏目
研究方向		页码范围	129-133
页数		分类号	TQ320.721\|O484.1
字数		语种	英文
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