大口径连续相位板面形检测与评价

• 作者: 张远航 杨春林 温圣林 王健 石琦凯 颜浩
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: 光学设计与制造 连续相位板 子孔径拼接检测 面形残差 惯性约束聚变
• 年，卷（期）: 2012,（10）
• 所属期刊栏目: 高功率激光与光学
• 页码范围: 2296-2300
• 页数: 5页
• 分类号: O435.2
• 字数: 2125字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/HPLPB20122410.2296

摘要

基于全局最小二乘拼接算法和图像融合算法建立了连续相位板(CPP)子孔径拼接检测算法,并根据全局相关匹配原理提出采用面形残差来评价CPP的加工面形.采用高精度动态干涉仪等设备建立了相应的检测系统,并针对430mm×430mm口径CPP开展了数值模拟和检测实验.理论计算结果表明:系统计算误差为0.005nm.实验结果表明,整个检测系统软硬件RMS误差小于5nm,基本满足CPP面形检测要求.从而验证了CPP检测和评价的正确性和可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王健		25	165	9.0	11.0
2	石琦凯		17	184	8.0	13.0
3	杨春林		29	204	7.0	13.0
4	温圣林		15	79	5.0	8.0
5	颜浩		9	53	4.0	7.0
6	张远航		5	14	3.0	3.0