碳化硼球面薄膜及空心微球的制备

• 作者: 于小河 卢铁城 廖志君 林涛 王自磊 陶勇
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 电子束真空蒸发 磁控滚动方法 碳化硼球面薄膜 碳化硼空心微球
• 年，卷（期）: 2012,（12）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1325-1330
• 页数: 6页
• 分类号: O484
• 语种: 中文
• DOI: 10.3724/SP.J.1077.2012.12091

摘要

采用电子束蒸发镀膜技术,结合磁控滚动方法在φ1 mm的钢球基底上制备碳化硼球面膜层,通过退火、打孔及腐蚀获得碳化硼空心微球.主要研究了球面膜层的宏观形貌、微观结构、成分及初步探讨了不同退火温度(800～1100℃)对核膜结构空心化的影响.利用扫描电子显微镜(SEM)、X射线光电子能谱分析(XPS)、原子力显微镜(AFM)对球面薄膜表面形态和薄膜元素组成进行了分析.结果表明:磁控滚动模式制备的球面膜层表面平整,没有裂纹和孔洞,元素分布均匀.核膜结构(镀膜时间在5～70 h)经900℃以上温度退火,空心化后的球面膜层可实现自支撑,900℃退火的微球表面形貌最好,壁厚可达10 μm以上.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陶勇		33	192	7.0	13.0
2	林涛		101	538	14.0	18.0
3	卢铁城		71	351	9.0	14.0
4	廖志君		17	37	4.0	5.0
5	王自磊		3	1	1.0	1.0
6	于小河		4	2	1.0	1.0