三氯氢硅尾气处理装置运行情况及技改效果

• 作者: 刘金鑫
• 来源期刊: 中国氯碱
• 学科: 工学
• 关键词: 三氯氢硅尾气 氯化氢 技改措施
• 年，卷（期）: 2012,（8）
• 所属期刊栏目: 氯产品
• 页码范围: 18-20
• 页数: 3页
• 分类号: TQ264.11
• 字数: 2492字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-1785.2012.08.008

摘要

分析了三氯氢硅尾气处理装置运行中存在的问题并提出了技改措施。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘金鑫		2	0	0.0	0.0