机电耦合下两端固支微梁的静态分析

• 作者: 陈美琴
• 来源期刊: 机电技术
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 两端固支微梁 挠度 厚度
• 年，卷（期）: 2012,（5）
• 页码范围: 56-58
• 分类号: TP211.2|TH123+.4
• 字数: 1640字
• 语种: 中文

摘要

在微机电系统中,静电驱动两端固支微梁常作为驱动结构,因此对微梁结构的静态分析研究具有重要意义.采用ANASYS中直接耦合法Trans126降阶单元,建立微梁的机电耦合模型,分析几何结构参数与其最大挠度的关系,进一步揭示在微机电结构中微梁抗弯刚度与其厚度的关系.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈美琴	闽西职业技术学院机械工程系	3	7	2.0	2.0