用于1m Seya-Namioka单色仪的1200lp/mm Laminar光栅

• 作者: 付绍军 刘正坤 刘颖 徐向东 洪义麟 邱克强
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 单色仪 衍射光栅 全息光刘 离子束刻蚀 真空紫外
• 年，卷（期）: 2012,（1）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 1-8
• 分类号: O436.1|TN305.7
• 字数: 4524字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20122001.0001

摘要

针对国家同步辐射实验室燃烧与火焰实验站中1 m Seya-Namioka单色仪对光栅的需求,采用全息离子束刻蚀工艺制作了1 200 lp/mm Laminar光栅.首先,通过光刻胶灰化技术调节光刻胶光栅掩模占空比,在理论设计的误差允许范围内,对此光栅掩模进行扫描离子束刻蚀；然后,将光栅图形转移到光栅基底中去除残余光刻胶；最后,采用离子束溅射法镀制厚约40 nm的金反射膜,采用热蒸发法镀制厚约60 nm的铝反射膜.用原子力显微镜分析光栅微结构,结果显示光栅槽深为40 nm,占空比为0.45.同步辐射在线波长扫描测试结果表明,镀铝光栅效率明显高于镀金光栅,获得的实验结果与理论计算结果基本符合.镀金光栅已替代进口光栅在线使用3年,其寿命大大超过复制光栅,基本满足了燃烧实验站的实验研究需求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐向东	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	74	701	15.0	21.0
2	洪义麟	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	56	478	13.0	19.0
3	付绍军	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	69	435	12.0	15.0
4	刘颖	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	158	3777	30.0	58.0
5	邱克强	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	25	135	6.0	10.0
6	刘正坤	中国科学技术大学国家同步辐射实验室	32	132	6.0	9.0