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摘要:
做好扫描电镜的日常维护工作并及时排除仪器常见故障是延长扫描电镜的使用寿命、维修周期和节约维修费用的重要手段。本文详细介绍了对JSM-6700F冷场发射扫描电镜进行日常维护的关键操作事项,并通过对JSM-6700F冷场发射扫描电镜实际操作中遇到的常见故障原因进行分析,阐述了真空系统、仪器控制系统电路、电子枪以及软件等方面故障的处理方法。
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文献信息
篇名 JSM-6700F冷场发射扫描电镜的日常维护及常见故障排除
来源期刊 现代科学仪器 学科 工学
关键词 扫描电镜 日常维护 故障排除
年,卷(期) 2012,(6) 所属期刊栏目 实验室建设
研究方向 页码范围 184-187
页数 分类号 TN16
字数 语种 中文
DOI
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序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 周丽花 中国科学院福建物质结构研究所 6 25 3.0 5.0
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研究主题发展历程
节点文献
扫描电镜
日常维护
故障排除
研究起点
研究来源
研究分支
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
现代科学仪器
双月刊
1003-8892
11-2837/TH
大16开
北京海淀区西三环北路27号理化实验楼512室
1984
chi
出版文献量(篇)
4906
总下载数(次)
12
总被引数(次)
20682
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:the National Natural Science Foundation of China
官方网址:http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:数理科学
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