基于MEMS微镜的傅里叶变换光谱仪原理与分析

• 作者: 刘波 张洁 朱永 王宁 陈建君 韦玮
• 来源期刊: 光谱学与光谱分析
• 学科: 工学
• 关键词: 光谱 MEMS 傅里叶变换
• 年，卷（期）: 2012,（11）
• 页码范围: 3151-3154
• 页数: 4页
• 分类号: TH744.1
• 字数: 3488字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3964/j.issn.1000-0593(2012)11-3151-04

摘要

提出了一种新型的基于可编程MEMS(micro-electro-mechanical systems)微镜的微型傅里叶变换红外光谱仪.该光谱仪采用可编程MEMS微镜和倾斜反射镜替代了传统傅里叶变换光谱仪的动镜系统.理论分析了该光谱仪的工作原理,并进行了计算机仿真,验证了该方法的可行性.结果表明,该光谱系统能够准确地还原光谱信息,其光谱分辨率在近红外区域小于5 nm,波长准确性约1nm,系统理论上的信号采集周期约50 ms.适合于利用阿达玛变换提高信噪比,可应用于微量物质检测.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张洁	重庆大学光电工程学院	77	522	12.0	19.0
2	朱永	重庆大学光电工程学院	112	1521	21.0	34.0
3	王宁	重庆大学光电工程学院	49	388	13.0	17.0
4	刘波	重庆大学光电工程学院	48	480	12.0	20.0
5	陈建君	重庆大学光电工程学院	6	47	4.0	6.0
6	韦玮	重庆大学光电工程学院	18	111	6.0	10.0