一种基于空间光调制器的微透镜阵列制备技术

• 作者: 浦东林 申溯 胡进 陈林森
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 光学制造 微透镜阵列 光刻 空间光调制器
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 光学设计与制造
• 页码范围: 244-248
• 页数: 5页
• 分类号: O435.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201239.0316003

摘要

提出了一种基于空间光调制器的并行光刻制备微透镜阵列的技术.采用数字微反射镜器件输入光刻图形,结合热回流技术,制作任意结构和排布的微透镜阵列.无限远校正显微微缩光学系统的长焦深保证了深纹光刻的实现,热回流法提供了良好的表面光滑度.与传统逐层并行光刻和掩模曝光技术相比,提出的技术方案更加便捷灵活,特别适合制作特征尺寸在数微米至百微米的微透镜阵列器件.得到的微透镜阵列模版经过电铸转移为金属模具,利用紫外卷对卷纳米压印技术在柔性基底上制备微透镜阵列器件,在超薄液晶显示、有机发光二极管(OLED)照明等领域有广泛应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	浦东林		22	47	4.0	5.0
2	陈林森		81	469	12.0	17.0
3	胡进		11	49	4.0	6.0
4	申溯		18	42	4.0	6.0