流速对半导体气体传感器响应的影响分析

• 作者: 余隽 唐祯安 孙长宇 梁宏增
• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体气体传感器 气体流速 特征参数 电子鼻
• 年，卷（期）: 2012,（5）
• 所属期刊栏目: 传感器技术
• 页码范围: 1-4
• 分类号: TP212.2
• 字数: 3683字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-1841.2012.05.001

摘要

半导体气体传感器被广泛应用在电子鼻系统中用于检测可燃性气体.然而,半导体气体传感器对环境变化非常敏感,从而影响电子鼻识别目标气体浓度的精度.文章通过实验研究了气体流速对传感器响应曲线及特征参数的影响,研究结果表明,流过传感器的流速对传感器的动态响应和稳态响应都有影响.流速越大,传感器的响应时问和恢复时间越短,灵敏度越南,基线电压越小,不同传感器的稳态响应电压受流速的影响趋势不同.流量小于200 sccm时,传感器受流速变化的影响较大,当流量大于500 sccm以后,传感器受流速变化的影响已越来越小.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐祯安	大连理工大学电子科学与技术学院	142	1281	17.0	29.0
2	余隽	大连理工大学电子科学与技术学院	37	252	7.0	14.0
3	梁宏增	大连理工大学电子科学与技术学院	1	9	1.0	1.0
4	孙长宇	大连理工大学电子科学与技术学院	2	10	1.0	2.0