亚智科技推出全新Manz Slit Coater

• 来源期刊: 中国电子商情：基础电子
• 学科: 哲学
• 关键词: 科技 智 驱动技术 玻璃基板 控制技术 自动化 稳定性 精确性
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 资讯快报
• 页码范围: 94-94
• 页数: 1页
• 分类号: B222.5
• 字数: 1017字
• 语种: 中文

摘要

亚智科技（ManzAsiaLtd．）推出了全新的光阻涂布设备ManzSlitcoater，该设备结合了德国ManzAG多年的自动化传输及多轴控制驱动技术，采用气悬浮平台控制技术进行玻璃基板的传输与光阻涂布，可完全免除基板静电及刮伤的问题。另外，ManzSlitCoater以固定龙门进行光阻涂布，与传统SlitCoater相比，精确性与稳定性更高。