一种新型微结构气体传感器电极设计分析

• 作者: 刘丽 李伟 李守春 王连元 田云霞 陕皓 韩郁 魏爱国
• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 学科: 工学
• 关键词: 气体传感器 微加热器 电极 温度分布
• 年，卷（期）: 2012,（12）
• 所属期刊栏目: 传感器技术
• 页码范围: 6-8
• 页数: 3页
• 分类号: TP212
• 字数: 1435字
• 语种: 中文

摘要

利用铂作为电极材料,SiO2作为隔热层,在单晶硅衬底上,设计了一种新型微结构气体传感器的电极结构.这种共平面型电极结构消除了加热器产生的磁场对测量信号的干扰.通过有限元分析工具分析加热器和信号电极在不同宽度与间距下的温度分布.当加热器宽度为100 μm,信号电极宽度35 μm,间距为70 μm,传感器获得均匀的温度分布和低功耗,有利于传感器整体性能的提高.