微纳牛级力检测的球膜敏感元件力学分析

• 作者: 卢占毫 陆永华
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 球膜变形量 微纳牛级力 球膜直径 球膜厚度
• 年，卷（期）: 2012,（16）
• 所属期刊栏目: 科学基金
• 页码范围: 1978-1981
• 分类号: TP212.12
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-132X.2012.16.019

摘要

为了实现工业技术领域的微纳牛级力大小的精确测量,以厚度约700nm、直径50mm左右的球形薄膜为敏感元件,将微纳牛级待测微粒置于球膜上,根据球膜变形量得出被测微粒的重力大小;利用ANSYS建立球形薄膜的力学模型,根据正交试验法设计试验工况,对球膜进行多种工况的受力分析;采用奇异值分解的最小二乘拟合算法处理试验数据,得出变形量、球膜参数以及微粒子重力之间的拟合公式;将拟合公式计算出的变形量理论值与对应试验值进行比较,结果表明:载荷在2～10μN范围内,检测误差不超过1％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陆永华		55	340	10.0	15.0
2	卢占毫		1	1	1.0	1.0