微米纳米计量及三维电子显微的发展和前沿

• 作者: 古耀达 周伦彬 孙晓辉 王海燕 蔡永洪 黄志斌
• 来源期刊: 广东科技
• 学科: 工学
• 关键词: 微纳米科技 SEM计量 三维重构 不确定度
• 年，卷（期）: 2012,（19）
• 所属期刊栏目: 研究园地
• 页码范围: 214-215
• 页数: 2页
• 分类号: TB92
• 字数: 2977字
• 语种: 中文

摘要

对微纳米科技的发展现状和发展前沿进行了综述，对微纳米科技中涉及几何量计量的技术进行了简要介绍，同时讲述了现有典型的微纳米几何量测量系统。重点介绍了测量范围大，分辨率高、横纵分辨比平衡的扫描电子显微技术，提出了场发射扫描电镜三维重构的问题，也为今后研究提供了分析基础。最后对电子显微三维重构技术的未来进行了展望。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	古耀达		11	32	3.0	5.0
2	蔡永洪		18	36	4.0	6.0
3	孙晓辉		33	65	5.0	6.0
4	王海燕		7	32	4.0	5.0
5	周伦彬		4	19	2.0	4.0
6	黄志斌		5	19	2.0	4.0