EB-PVD制备ZrO2涂层的微观组织结构研究

• 作者: 李江财 李陈平 潘海蛟 王剑豪 陶李洋 马李
• 来源期刊: 科学技术与工程
• 学科: 工学
• 关键词: 涂层 电子束物理气相沉积 微观组织结构
• 年，卷（期）: 2012,（20）
• 所属期刊栏目: 研究简报
• 页码范围: 5002-5005,5011
• 分类号: TG174.452
• 字数: 2877字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-1815.2012.20.031

摘要

采用电子束物理气相沉积法在不锈钢基体上制备了氧化钇部分稳定氧化锆陶瓷涂层.利用XRD、XPS、SEM、AFM对涂层的相结构、化学成分、表面形貌进行了实验分析.结果表明,氧化锆涂层为四方相氧化锆,并不同程度存在织构现象.随着基体温度的升高,涂层中的晶粒尺寸在逐渐长大.涂层表面的小颗粒为柱状晶的上表面,涂层表面的粗糙度随着靶基距的升高而变小.涂层表面Zr-O结合态为Zr4+,而涂层内部存在少量的缺氧现象.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李江财	台州学院物理与电子工程学院	2	4	1.0	2.0
2	陶李洋	台州学院物理与电子工程学院	3	5	1.0	2.0
3	李陈平	台州学院物理与电子工程学院	2	4	1.0	2.0
4	马李	台州学院物理与电子工程学院	15	38	4.0	5.0
5	潘海蛟	台州学院物理与电子工程学院	1	1	1.0	1.0
6	王剑豪	台州学院物理与电子工程学院	2	1	1.0	1.0