化学气相沉积ZrO2涂层的表面微观形貌演变

• 作者: 熊翔 郝安林 郝振华
• 来源期刊: 粉末冶金材料科学与工程
• 关键词: 化学气相沉积 氧化锆涂层 微观形貌
• 年，卷（期）: 2015,（2）
• 所属期刊栏目: 工艺技术
• 页码范围: 237-243
• 页数: 7页
• 分类号: TQ134.1
• 语种: 中文

摘要

采用 ZrCl4-CO2-H2-Ar 体系，在不同温度或氢气流量条件下采用常压化学气相沉积法(APCVD)通过不同沉积流程在C/C样品表面制备ZrO2涂层。用X射线衍射分析仪(XRD)和扫描电镜(SEM)分析涂层的物相组成和形貌特征。结果表明：随沉积温度升高，ZrO2涂层表面形貌由小颗粒堆积态向大尺寸多晶转变；氢气流量为0时，只在局部区域出现了少量ZrO2，当氢气流量为400 mL/min时，ZrO2涂层晶粒尺寸较大且晶体学平面特征最明显；在氢气流量为800 mL/min时沉积出现了副产物ZrC与C；在氢气流量为1600 mL/min时，出现沉积副产物ZrC；连续沉积时，得到的ZrO2涂层为山峰状形貌。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	熊翔	中南大学粉末冶金国家重点实验室	345	3793	27.0	39.0
2	郝安林		17	41	4.0	5.0
3	郝振华	中南大学粉末冶金国家重点实验室	4	11	2.0	3.0