磁性量子元胞自动机功能阵列的实验研究

• 作者: 刘保军 李政操 杨晓阔 王久洪 蔡理 赵晓辉 黄宏图
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 工学
• 关键词: 纳磁体 电子束光刻 磁力显微图 间距
• 年，卷（期）: 2012,（4）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质：电子结构、电学、磁学和光学性质
• 页码范围: 436-441
• 分类号: TN791
• 字数: 2125字
• 语种: 中文

摘要

采用电子束光刻、热蒸镀和剥离工艺在室温下制备了多组磁性量子元胞自动机器件功能阵列.实验研究了曝光剂量和曝光时间对三个不同间距参数磁性量子元胞自动机阵列图案的影响,发现100 pA电子束束流和0.38μs曝光时间可获得理想的阵列图案.对制备的反相器阵列结构进行了磁力显微测试,结果显示了正确的逻辑功能,成功实现了不同间距参数功能阵列的实验制备.此外.实验还发现纳磁体阵列制备中容易出现缺陷,模拟结果表明丢失纳磁体缺陷导致了信号传递反相.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘保军	空军工程大学理学院	24	50	5.0	5.0
2	杨晓阔	空军工程大学理学院	45	108	6.0	8.0
3	蔡理	空军工程大学理学院	136	382	8.0	11.0
4	李政操	空军工程大学理学院	12	35	4.0	5.0
5	王久洪	西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室	6	34	4.0	5.0
6	赵晓辉	空军工程大学理学院	15	60	5.0	7.0
7	黄宏图	空军工程大学理学院	14	47	5.0	6.0