用表面等离子体共振传感器检测纳米间距

• 作者: 卢振武 王二伟 王成 鱼卫星
• 来源期刊: 中国光学
• 学科: 工学
• 关键词: 表面等离子体共振(SPR)传感器 角度传感器 纳米间距 共振角度 位相差
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 所属期刊栏目: 光学仪器与测试
• 页码范围: 259-266
• 页数: 8页
• 分类号: O436.1|TB92
• 字数: 4193字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CO.20130602.0259

摘要

结合物理光学原理和表面等离子体共振(SPR)角度传感器,提出了可以突破衍射极限的纳米间距检测方法.在理论上建立起纳米间距和位相改变量之间的函数关系,借助于SPR角度传感器的高灵敏性,提出通过检测出射光束振动方向的p分量和s分量的位相差值来实现纳米间距的实时检测.模拟结果显示:纳米间距改变量从-0.5～0.5 μm变化时,位相改变量可实现-150°～150°的变化,检测灵敏度＞1 nm.该检测方法能够实现10 nm以下间距的灵敏检测,且具有结构简单,易于操作,实时检测的特点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	卢振武	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	93	1154	21.0	28.0
2	王成	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	134	1874	23.0	36.0
3	鱼卫星	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	10	75	5.0	8.0
4	王二伟	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	1	12	1.0	1.0