飞秒激光微孔加工

• 作者: 刘鹏军 夏博 姜澜 王素梅 闫雪亮
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 超快光学 超短脉冲激光 微孔加工 飞秒脉冲 脉冲序列
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 1-12
• 页数: 12页
• 分类号: O436
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201340.0201001

摘要

飞秒激光具有超快、超强的特性,在微孔加工中有着独特的优势,尤其是针对高品质、大深径比的微孔加工有着不可替代的作用.介绍了超短脉冲激光微孔加工的优势以及研究意义,综述了近十几年来基于超短脉冲激光的微孔加工研究现状,并讨论了材料、激光脉冲参数、加工方式和加工环境等因素对超短脉冲激光微孔加工的影响.指出了现阶段超短脉冲激光微孔加工的应用前景,并总结了超短脉冲激光微孔加工当前所面临的挑战,以及今后的研究重点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姜澜		10	22	3.0	4.0
2	王素梅		14	63	5.0	7.0
3	闫雪亮		2	12	1.0	2.0
4	夏博		2	12	1.0	2.0
5	刘鹏军		2	12	1.0	2.0