不同电压下静电驱动膜片弹性变形分析

• 作者: 李丽伟 辛超
• 来源期刊: 上海电力学院学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 静电驱动 膜片 弹性变形 薄板理论
• 年，卷（期）: 2013,（4）
• 所属期刊栏目: 电力工程
• 页码范围: 330-332
• 页数: 3页
• 分类号: TH703.1|TM38
• 字数: 1793字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-4729.2013.04.006

摘要

基于静电场和弹性薄板理论,建立了周边固支边界条件下静电驱动圆膜弯曲的理论模型,同时对比两种情况得出了在不同驱动电压下的位移分析.通过计算实例获得了其结构的振动振型、谐振频率及极限加载电压,利用Ansys软件针对静电驱动结构的振动进行了模态分析,得到了其振动模态振型和固有频率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李丽伟	上海电力学院能源与机械工程学院	18	20	2.0	2.0
2	辛超	上海电力学院能源与机械工程学院	2	6	2.0	2.0