硬质合金成形铣刀的金刚石涂层热应力分析

• 作者: 张春林 张晓辉 许幸新 郑友益
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 热丝化学气相沉积 金刚石薄膜 有限元模拟 热应力
• 年，卷（期）: 2013,（5）
• 页码范围: 48-52,56
• 分类号: TQ164|TG74
• 语种: 中文

摘要

针对B212型YG6硬质合金成形铣刀片,采用热丝化学气相沉积的方法,在其上沉积微米级金刚石薄膜.采用有限元分析的方法,研究成形铣刀片金刚石涂层的制备工艺,对热载荷作用下的金刚石薄膜和硬质合金基体间的热应力进行数值模拟计算,分析主要沉积工艺参数对金刚石涂层热应力的影响;采用扫描电镜、拉曼光谱及压痕实验等表征方法验证刀片不同部位金刚石薄膜的热应力特性.结果表明:较低的生长温度和较大的厚度有利于金刚石薄膜热应力的降低;在现有的制备条件下,保持沉积温度750℃基本恒定,沉积6h后,薄膜厚度约为10μm,金刚石薄膜热应力较低,沉积质量较好,表现出良好的附着力,附着强度介于600 N和1000 N之间.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	许幸新		23	55	4.0	6.0
2	郑友益		27	110	6.0	9.0
3	张晓辉		12	19	3.0	4.0
4	张春林		6	15	2.0	3.0