基于微流控技术的新型光衰减器器件设计

• 作者: 万静 郭安金
• 来源期刊: 南京邮电大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 可调光衰减器 微流控技术 电磁驱动 MOEMS
• 年，卷（期）: 2013,（5）
• 所属期刊栏目: 通信与电子
• 页码范围: 45-48
• 页数: 4页
• 分类号: TN256
• 字数: 3080字
• 语种: 中文

摘要

采用液体作为光学器件元素,以微流控技术、电磁驱动技术及MOEMS技术相结合,提出一种新颖的可调光衰减器结构.通过电磁驱动装置控制衰减器中微流体的位置,实现光能量的可调衰减.以电磁驱动方式控制衰减器的调节,它的工作电压小、驱动行程大,且控制电路较为简单.该衰减器具有体积小、衰减范围大的特点,有利于光衰减器的集成化、微型化及制作.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	万静	南京邮电大学光电工程学院	20	55	5.0	6.0
2	郭安金	南京邮电大学光电工程学院	1	3	1.0	1.0