一种高压大电流半导体放电管的研究

• 作者: 向导 唐政维 张盼盼
• 来源期刊: 重庆邮电大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 高压大电流 半导体放电管 镓扩散 台面工艺 玻璃钝化
• 年，卷（期）: 2013,（5）
• 所属期刊栏目: 通信与电子
• 页码范围: 634-638
• 页数: 5页
• 分类号: TN342.3
• 字数: 4606字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3979/j.issn.1673-825X.2013.05.013

摘要

针对常规半导体放电管在超大浪涌电流作用下,易局部过热而损坏这一问题,采用镓闭管扩散代替硼扩散、台面工艺解决二氧化硅不能掩蔽镓扩散所带来的问题、玻璃钝化工艺实现高压结面保护等方法.实验结果表明,通过镓扩散、台面刻槽、玻璃钝化和钛镍银多层金属化等工艺,提高了放电管的启动保护电压和最大浪涌电流,其最大浪涌电流达到6 kA,比设计值5 kA提高了20％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	向导	重庆邮电大学光电工程学院	6	17	1.0	4.0
2	唐政维	重庆邮电大学光电工程学院	25	163	6.0	12.0
3	张盼盼	重庆邮电大学光电工程学院	1	1	1.0	1.0