基于差分方法的高精度球面调整误差校正

• 作者: 杨甬英 王道档 邵卫红 陈晓钰
• 来源期刊: 光电子·激光
• 学科: 工学
• 关键词: 光学检测 差分波前 调整误差校正 球面
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 所属期刊栏目: 测量·检测
• 页码范围: 127-132
• 页数: 6页
• 分类号: T744.3
• 语种: 中文

摘要

针对高精度球面检测中待测球面调整误差所引入的高阶像差影响,提出了一种基于差分方法的高精度调整误差校正方法.通过对待测球面分别引入两个不同的波前离焦量,对测得的波面数据取差分,由此得到测量中调整误差所引入的高阶像差,并将其从面形数据中分离出来,进而实现高精度的球面调整误差校正.通过Zygo干涉仪对提出方法的可行性进行了实验验证,并给出了实验结果.测量中,对大数值孔径待测球面同时引入波前离焦和倾斜,运用本文方法实现调整误差的校正精度达到了均方根(RMS)为0.001 5λ和峰谷(PV)为0.018 9λ.本文方法无需了解检测系统或待测球面的任何先验信息,并可有效降低对待测球面调整的要求,在实际的高精度球面检测中有很好的适用性.