基于ZF6基底的可见光宽谱带高性能增透膜

• 作者: 刘桂林 孙强 曲锋 朱华新 李帅
• 来源期刊: 中国光学
• 学科: 物理学
• 关键词: 光学薄膜 增透膜 电子束蒸发物理气相沉积 透过率
• 年，卷（期）: 2013,（4）
• 所属期刊栏目: 光学功能材料
• 页码范围: 551-556
• 页数: 6页
• 分类号: O484.41
• 字数: 3147字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CO.20130604.0551

摘要

以ZF6为基底,采用电子束蒸发物理气相沉积方法设计并制备了一种增透波长为0.4～0.8μm的宽谱带可见光区增透膜.薄膜材料仅含有TiO2和SiO2两种材料,分别作为高低折射率材料.利用Edinburgh光谱仪对双面镀制该膜系样品的透过率进行测量,测试结果表明:薄膜平均透过率达98.15％,实际样品的光学特性与设计结果基本相符,具有宽带的增透特性,减少了表面剩余反射.机械强度与环境测试表明:制备的薄膜具有良好的稳定性和牢固度,可以应用于可靠性要求较高的光学系统中.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙强	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	204	1641	20.0	28.0
2	朱华新	江南大学理学院	30	52	5.0	5.0
3	刘桂林	江南大学理学院	22	41	4.0	5.0
4	李帅	江南大学理学院	22	46	4.0	5.0
5	曲锋	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	10	47	4.0	6.0