CrAlTiN及CrAlTiSiN纳米多层复合涂层的制备及力学性能

• 作者: 付德君 付酮程 杨兵 田灿鑫 闫少健 黄志宏
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 工学
• 关键词: 多弧离子镀 CrAlTiSiN 纳米多层膜 显微硬度 摩擦因数
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 所属期刊栏目: 表面工程研究
• 页码范围: 20-26
• 分类号: TG174.444
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-9289.2013.01.004

摘要

以金属Cr和AlTi合金为靶材料,在沉积过程中引入SiH4气体,用自行设计的多靶阴极电弧离子镀系统在单晶硅和硬质合金衬底上沉积了CrAlTiN和CrAlTiSiN硬质涂层.通过X射线衍射(XRD)和透射电镜(TEM)分析涂层的组织和形貌,结果表明:衬底偏压和反应气体流量对膜层的力学性能有较大影响,在优化条件下得到CrAlTiN涂层的硬度为29 GPa.且CrAlTiSiN涂层为CrSiN和AlTiSiN组成的纳米多层复合涂层,随着SiH4流量的增加,薄膜中的硅含量明显增加,在优化条件下,涂层的显微硬度达到37 GPa,摩擦因数为0.58.刀具涂层检测试验表明,涂覆CrAlTiN涂层的铣刀使用寿命可提高3倍,而CrAlTiSiN涂层较CrAlTiN涂层还会进一步提高刀具使用寿命.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨兵	武汉大学动力与机械学院	36	341	8.0	17.0
2	付德君	武汉大学物理科学与技术学院	28	94	6.0	8.0
3	田灿鑫	武汉大学物理科学与技术学院	7	37	4.0	6.0
4	付酮程	武汉大学物理科学与技术学院	1	3	1.0	1.0
5	闫少健	武汉大学物理科学与技术学院	5	25	3.0	5.0
6	黄志宏	武汉大学物理科学与技术学院	1	3	1.0	1.0