面板厂曝光机雾化防治案例介绍

• 作者: 杨政谕
• 来源期刊: 洁净与空调技术
• 关键词: 曝光机 雾化 雾化防治 AMC
• 年，卷（期）: 2013,（3）
• 所属期刊栏目: 专题研讨
• 页码范围: 33-35
• 页数: 3页
• 字数: 2761字
• 语种: 中文

摘要

介绍如何事先系统性分析相关考虑因素,应用化学过滤器,成功达到某面板厂曝光机雾化防治,降低客户曝光机维护成本.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨政谕		7	4	1.0	1.0