机床滚转角测量中敏感元件倾斜引起的误差分析

• 作者: 汤善治 王昭 郭俊杰 钟丽红 高建民
• 来源期刊: 西安交通大学学报
• 关键词: 滚转角 1/2波片 运动误差 测量误差
• 年，卷（期）: 2013,（5）
• 页码范围: 99-103
• 页数: 5页
• 分类号: TH741.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.7652/xjtuxb201305018

摘要

为研究正交偏振光相位法测量机床滚转角过程中,机床的俯仰、偏摆运动误差对测量精度的影响,建立了测量光路数学模型,利用琼斯矩阵法计算光路中光的偏振态变换过程,并推导出被测滚转角与相位变化量间的测量公式.在此基础上,采用光的偏振和晶体光学理论,分析了测量过程中机床俯仰、偏摆运动误差造成的敏感元件(即1/2波片)倾斜所引起的测量误差.分析结果表明,1/2波片在倾斜角度小于2°的情况下所引起的测量误差小于0.1％,对测量精度影响较小,从而论证了正交偏振光相位法高精度测量机床滚转角的可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高建民	西安交通大学机械系统工程国家重点实验室	306	2872	25.0	37.0
2	王昭	西安交通大学机械工程学院	63	763	13.0	26.0
3	钟丽红	西安交通大学机械工程学院	1	7	1.0	1.0
4	汤善治	西安交通大学机械工程学院	2	13	2.0	2.0
5	郭俊杰		1	7	1.0	1.0