基于氧化钒热敏特性的太赫兹探测器

• 作者: 周逊 张庆伟 李赜宇 杨存榜 王度 罗振飞
• 来源期刊: 太赫兹科学与电子信息学报
• 学科: 工学
• 关键词: 太赫兹探测器 氧化钒 微测辐射热计
• 年，卷（期）: 2013,（3）
• 页码范围: 328-331
• 页数: 4页
• 分类号: TN215
• 字数: 1805字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11805/TKYDA201303.0328

摘要

采用氧化钒(VOX)薄膜作为热敏层的非制冷红外微测辐射热计在红外探测方面已取得很大成功，而当将其用于波长更长的远红外太赫兹(THz)波探测时其中存在的不足就会体现出来。介绍了基于微测辐射热计设计的 THz 探测器所需的 THz 波吸收材料、VOX热敏材料及信号读出电路应满足的基本要求，为研制 THz 波探测器提供了必要参考，并给出已研制成功的 VOX热敏薄膜材料的部分性能实验结果。