304不锈钢表面Ta沉积膜N离子 注入后的摩擦学性能

• 作者: 刁云华 李忠文 林文松 温静 潘辰林
• 来源期刊: 上海工程技术大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射沉积 氮离子注入 摩擦因数
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 所属期刊栏目: 材料与生态化工
• 页码范围: 87-90
• 页数: 4页
• 分类号: TG174.444|TH117.1
• 字数: 2248字
• 语种: 中文

摘要

利用磁控溅射方法在304不锈钢表面沉积厚约100 nm的钽膜,并对其进行氮等离子体基离子注入,注入能量为50 keV,用掠射X线衍射(GXRD)分析了改性层的组成相结构,选取φ6 mm的GCr15钢球作为对磨件,测试了处理后试样的磨损性能.研究结果表明:改性层含有钽的氮化物,注入剂量较低时,化合物为TaN0.1；随着注入剂量的增加,形成TaN.经过该处理后的304不锈钢磨损性能提高,磨损率降低幅度达到66.3％；摩擦因数有所降低,表面摩擦因数由未处理前的1.0～1.2下降至处理后的0.2～0.4.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林文松	上海工程技术大学材料工程学院	88	565	13.0	21.0
2	李忠文	上海工程技术大学材料工程学院	26	23	3.0	3.0
3	潘辰林	上海工程技术大学材料工程学院	1	0	0.0	0.0
4	刁云华	上海工程技术大学材料工程学院	1	0	0.0	0.0
5	温静	上海工程技术大学材料工程学院	1	0	0.0	0.0