模具钢微细蚀刻的侧蚀研究及其工艺优化

• 作者: 王冠 郭钟宁 黄红光
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: 模具钢 微细蚀刻 侧蚀量 正交实验
• 年，卷（期）: 2013,（6）
• 所属期刊栏目: 应用技术
• 页码范围: 44-47
• 分类号: TG176
• 语种: 中文

摘要

目的 研究HNO3浓度、喷淋压力、掩膜间隙、加工时间对侧蚀量的影响规律.方法 设计正交实验,测定蚀刻后的侧蚀量,采用极差分析、方差分析法对侧蚀量进行分析,通过验证性实验进行验证.结果 侧蚀量随加工时间的延长以及喷淋压力、加工时间的增大而增大,随HNO3浓度的增大而减小.侧蚀量最小的工艺是:HNO3浓度为1.8 mol/L,喷淋压力为0.2 MPa,掩膜间隙为50 μm,蚀刻时间为2min.结论 加工时间对侧蚀量有显著性影响,喷淋压力对侧蚀量影响较大,其次是掩膜间隙和HNO3浓度.验证性试验证明最优工艺方案可行.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭钟宁		197	1090	16.0	23.0
2	王冠		28	61	4.0	6.0
3	黄红光		8	16	2.0	3.0