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Al/Al2O3/Cu测控温薄膜材料的制备
Al/Al2O3/Cu测控温薄膜材料的制备
作者:
乔英杰
于佳音
崔新芳
练小正
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
陀螺仪
温度传感器
复合薄膜
氧化膜
磁控溅射
摘要:
针对液浮陀螺仪悬浮液的应用环境,设计出Al/Al2O3/Cu测控温材料.采用阳极氧化的方法在草酸与冰乙酸组成的电解液中制备了阳极氧化膜绝缘层,并采用磁控溅射的方法制备了温度敏感层.利用扫描电镜、原子力显微镜和光学显微镜等研究了阳极氧化膜和铜膜的表面形貌,采用绝缘电阻测试仪测试阳极氧化膜的绝缘性能.结果表明,阳极氧化工艺对阳极氧化膜的绝缘性能以及热处理过程中的开裂行为都有一定影响.电流密度为1.0~1.5 A/dm2,冰乙酸浓度为0.1~0.3 mol/L,阳极氧化时间在30~60 min条件下制备的氧化膜绝缘性能和抗开裂性能满足Al/Al2O3/Cu绝缘层要求.以该氧化膜为衬底制备铜膜刻蚀后可得到连续的电阻条.
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制备方法
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内容分析
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文献信息
篇名
Al/Al2O3/Cu测控温薄膜材料的制备
来源期刊
中国科技论文
学科
工学
关键词
陀螺仪
温度传感器
复合薄膜
氧化膜
磁控溅射
年,卷(期)
2013,(2)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
128-131
页数
4页
分类号
TN371
字数
3404字
语种
中文
DOI
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
乔英杰
哈尔滨工程大学材料科学与化学工程学院
56
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14.0
2
于佳音
哈尔滨工程大学材料科学与化学工程学院
1
1
1.0
1.0
3
崔新芳
中国航天科工集团第四研究院第四总体设计部
1
1
1.0
1.0
4
练小正
哈尔滨工程大学材料科学与化学工程学院
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陀螺仪
温度传感器
复合薄膜
氧化膜
磁控溅射
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研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
中国科技论文
主办单位:
教育部科技发展中心
出版周期:
月刊
ISSN:
2095-2783
CN:
10-1033/N
开本:
大16开
出版地:
北京市海淀区中关村大街35号教育部科技发展中心
邮发代号:
创刊时间:
2006
语种:
chi
出版文献量(篇)
4942
总下载数(次)
10
总被引数(次)
14783
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