非旋转对称三次方面形的非接触式检测方法

• 作者: 林洪沂 许英朝
• 来源期刊: 厦门大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 测量 非旋转对称 三次方面 计算全息图
• 年，卷（期）: 2013,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 177-181
• 页数: 5页
• 分类号: TN247
• 字数: 1847字
• 语种: 中文
• DOI: 10.6043/j.issn.0438-0479.2013.02.007

摘要

非旋转对称的光学曲面越来越多地应用到现代光学系统中,但对该类光学面形的检测还基本依靠坐标测量机和接触式轮廓仪.利用计算全息图(computer-generated holograms,CGH)可以生成任意想要的波前这一特点,提出了利用计算全息来检测非旋转对称的光学曲面的非接触式测量方法,并通过对一个三次方面进行面形检测,详细给出了从检测系统的理论设计、CGH的制作到面形检测整个过程.检测结果的面形偏差PV值为1.047 λ(λ=0.632 8×10-3 mm,氦氖激光波长),均方根(RMS)值是0.094 λ.该方法可以作为现行接触式测量方法的有效补充,并且具有良好的前景.