调制周期对CrAl/CrAlN多层薄膜结构及耐腐蚀性能的影响

• 作者: 刘晓红 刘流 吉利 吕艳红 周惠娣 李红轩 陈建敏
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 CrAl/CrAlN 多层薄膜 微观结构 耐腐蚀性能
• 年，卷（期）: 2013,（5）
• 所属期刊栏目: 表面工程研究
• 页码范围: 18-23
• 分类号: TG174.44|TG174.21
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-9289.2013.05.004

摘要

采用中频非平衡磁控溅射技术制备CrAl/CrAlN多层薄膜,研究了调制周期对CrAl/CrAlN多层薄膜的微观结构、机械性能和耐腐蚀性能的影响.研究表明:CrAl/CrAlN多层薄膜具有致密的层状结构.随着调制周期的增大,薄膜应力由拉应力转变为压应力,当调制周期为285.7 nm时,CrAl/CrAlN多层薄膜的硬度出现了极大值.此外,调制周期对薄膜的耐腐蚀性能有显著的影响.经过96 h盐雾(3.5％NaCl)试验,调制周期为142.8 nm的CrAl/CrAlN多层薄膜依然没有发生腐蚀现象,表明此条件下CrAl/CrAlN薄膜具有优异的耐腐蚀性能.