电子特气中痕量水分测量方法

• 作者: 高艳秋
• 来源期刊: 上海计量测试
• 关键词: 电子特气 痕量 水分 测量方法 取样系统
• 年，卷（期）: 2013,（5）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 28-30
• 页数: 3页
• 字数: 1931字
• 语种: 中文

摘要

针对电子特气中痕量水分的测量，设计了一套稳定可靠的气体取样系统。并对两种新的电子特气水分测量方法（石英振荡法和光腔衰荡法）及其代表性仪器进行研讨。两种分析方法及取样系统均适用于大多数电子特气，有效地保证了水分测量结果的准确可靠。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高艳秋		17	8	2.0	2.0