半导体制造过程R2R控制方法研究进展

• 作者: 王亮 王志艳 胡静涛
• 来源期刊: 现代制造工程
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体制造 过程控制 R2R控制方法 指数加权移动平均 预测控制
• 年，卷（期）: 2013,（3）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 4-10,99
• 页数: 8页
• 分类号: TP202
• 字数: 4894字
• 语种: 中文

摘要

随着半导体器件关键尺寸的不断减小、集成度的不断提高和晶圆直径的不断增大,半导体制造过程变得越来越复杂,对半导体制造装备及其自动化水平要求越来越高.半导体制造过程Run-to-Run (R2R)控制器的性能直接决定半导体产品的良率、再工次数和产能,所以对半导体制造过程R2R控制方法的研究具有重要的意义.首先对半导体制造的主要过程和R2R控制方法的原理进行介绍,然后对各种主要的R2R控制方法进行综述和分析,最后对R2R控制方法未来的研究方向进行探讨.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王亮	沈阳化工大学计算机科学与技术学院	26	48	5.0	6.0
2	王志艳	沈阳化工大学计算机科学与技术学院	2	0	0.0	0.0
3	胡静涛	中科院沈阳自动化所工业信息学重点实验室	3	6	1.0	2.0