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摘要:
搭建了双光束激光干涉光刻系统和激光快速扫描系统.利用干涉光刻系统,实现了不同周期、不同深度、大面积的表面规则光栅织构的构筑.利用激光快速扫描器的二维扫描功能,通过控制激光功率和扫描速度,对曝光量和填充线条间距进行了优化.提出了两种双尺度复合织构的制备方法:一种是在激光快速扫描系统中对抗蚀剂表面分别进行z,y方向的扫描光刻,然后在干涉光刻系统中进行双光束干涉光刻;另一种是在激光干涉光刻系统中进行两次曝光,每次曝光的入射角不同.实验结果表明:这两种方法在制备双尺度复合织构方面具有快速、廉价、操作简易等优点.
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文献信息
篇名 双尺度织构的激光光刻工艺
来源期刊 强激光与粒子束 学科 工学
关键词 双光束干涉 双尺度 表面织构 激光光刻
年,卷(期) 2013,(11) 所属期刊栏目 ICF与激光等离子体
研究方向 页码范围 2900-2904
页数 5页 分类号 TN305.7
字数 3349字 语种 中文
DOI 10.3788/HPLPB20132511.2900
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 朱华 中国矿业大学机电工程学院 123 2190 24.0 42.0
2 钱济国 中国矿业大学机电工程学院 14 74 4.0 8.0
3 唐玮 中国矿业大学机电工程学院 15 103 6.0 10.0
4 杨海峰 中国矿业大学机电工程学院 28 141 6.0 11.0
5 郝敬宾 中国矿业大学机电工程学院 24 88 5.0 9.0
6 贺海东 中国矿业大学机电工程学院 2 11 2.0 2.0
7 赵恩兰 中国矿业大学机电工程学院 2 16 2.0 2.0
传播情况
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研究主题发展历程
节点文献
双光束干涉
双尺度
表面织构
激光光刻
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
强激光与粒子束
月刊
1001-4322
51-1311/O4
大16开
四川绵阳919-805信箱
62-76
1989
chi
出版文献量(篇)
9833
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7
总被引数(次)
61664
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