应用于干涉显微镜的直线压电作动器

• 作者: 曹如意 朱华 菅磊
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 干涉显微镜 三角放大原理 步进式压电作动器 结构优化 干涉条纹
• 年，卷（期）: 2013,（6）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 1524-1530
• 页数: 7页
• 分类号: TH742.9|TN384
• 字数: 2524字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20132106.1524

摘要

提出了应用于干涉显微镜焦距调节的直线压电叠堆作动器和微动台.介绍了基于三角位移放大原理的压电作动器结构设计,利用ANSYS的APDL语言实现了对作动器钢架结构的建模,并采用Optimus中自带的差分进化算法(DE)对其结构尺寸进行了优化.制作了实验样机,激光干涉实验表明:当驱动电压信号幅值为40～100 V时,作动器位移放大倍数可以达到7.最后,将设计的直线作动器作为驱动核心安装在自行设计的微动台上,然后将组成的系统用于光学干涉显微镜.实验显示,整个系统在电压为24～40 V,阶梯增量电压为0.8V时,步进分辨率可达23 nm,满足干涉显微镜细分干涉条纹所需要的直线位移分辨率的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱华	南京航空航天大学机械结构力学与控制国家重点实验室	41	544	12.0	22.0
2	曹如意	南京航空航天大学机械结构力学与控制国家重点实验室	1	11	1.0	1.0
3	菅磊	南京航空航天大学机械结构力学与控制国家重点实验室	5	19	3.0	4.0