微分相衬干涉显微镜定量测量表面形貌

• 作者: 徐毓娴 惠梅 蔡昕 许谊
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 干涉显微镜 相衬显微镜 形貌测量术
• 年，卷（期）: 2001,（3）
• 所属期刊栏目: 光学仪器与技术
• 页码范围: 226-229
• 页数: 4页
• 分类号: TH742
• 字数: 2439字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2001.03.006

摘要

改进了用于定量测量样品表面形貌的微分相衬干涉显微镜系统,对系统中由Nomarski棱镜引起的相位差β的消零工作提出了一种新的方法,实验证明是有效可靠的,并且对样品表面三维形貌重构、截面轮廓比对及系统的测量精度进行了实验研究.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	许谊	清华大学精密仪器系	3	74	3.0	3.0
2	徐毓娴	清华大学精密仪器系	21	417	10.0	20.0
3	惠梅	中国科学院西安光机所	5	122	4.0	5.0
4	蔡昕	清华大学精密仪器系	5	99	5.0	5.0