扫描探针显微镜在粗糙度、纳米尺寸、表面形貌观测方面的应用

• 作者: 游俊富 王虎 赵海山
• 来源期刊: 现代科学仪器
• 学科: 工学
• 关键词: 扫描探针显微镜(SPM) 粗糙度 表面形貌 纳米尺寸
• 年，卷（期）: 2003,（2）
• 所属期刊栏目: 纳米测量技术与仪器(第一届全国纳米测量技术会议论文之一)
• 页码范围: 9-12
• 页数: 4页
• 分类号: TH742
• 字数: 4646字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-8892.2003.02.002

摘要

扫描探针显微镜是近十几年来在表面特征表面形貌观测方面最重大的进展之一,是纳米测量学的基本工具,本文叙述了扫描探针显微镜的工作原理、检测模式及在观察检测纳米级的粗糙度、微小尺寸、表面形貌方面的特点和方法,比较了原子力显微镜、常规的表面轮廓仪、干涉显微镜、扫描电子显微镜在表面特性、表面形貌观测方面的性能,着重介绍了扫描探针显微镜在这方面的应用和存在的问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王虎		10	74	4.0	8.0
2	游俊富		9	71	4.0	8.0
3	赵海山		7	45	3.0	6.0