扫描探针显微镜在粗糙度、纳米尺寸、表面形貌观测方面的应用

• 作者: 游俊富 王虎 赵海山
• 来源期刊: 理化检验-物理分册
• 学科: 工学
• 关键词: 扫描探针显微镜 粗糙度 表面形貌 纳米尺寸
• 年，卷（期）: 2003,（3）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 146-150
• 页数: 5页
• 分类号: TB302.1
• 字数: 4108字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-4012.2003.03.009

摘要

扫描探针显微镜是近十几年来在表面特征、表面形貌观测方面最重大的进展之一,是纳米测量学的基本工具.叙述了扫描探针显微镜的工作原理、检测模式及在观察检测纳米级的粗糙度、微小尺寸、表面形貌方面的特点和方法,比较了原子力显微镜、常规的表面轮廓仪、干涉显微镜、扫描电子显微镜在表面特性、表面形貌观测方面的性能,着重介绍了扫描探针显微镜在粗糙度、纳米尺寸、表面形貌观测方面的应用和存在的问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王虎		10	74	4.0	8.0
2	游俊富		9	71	4.0	8.0
3	赵海山		7	45	3.0	6.0